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地 址:上海市閔行區浦江鎮
    沈杜公路3872號F樓
    A101
郵 編:201112
聯(lián)系人:石川涼
手 機:86-15921059678
微信號:15921059678
郵 件:r_ishikawa@tokkyokiki.co.jp
傳 真:86-21-64919011
主動(dòng)隔振平臺

・超薄機身
・XYZ方向和各旋轉方向6自由度控制
・Lowest height 150mm
・6 DOF(Degree of Freedom)control
・主動(dòng)式空壓+線(xiàn)性馬達隔振系統
・αL4X-911R1-CH主動(dòng)式隔振平臺是結合了空壓(低頻)和線(xiàn)性馬達(高頻)的兩種優(yōu)點(diǎn),專(zhuān)為掃描電子顯微鏡而設計的高精密隔振平臺。
・本主動(dòng)隔振系統可將影響儀器設備正常工作的安裝場(chǎng)地的細微振動(dòng),在所有頻率范圍內予以全面衰減而不降低儀器設備本身具有的各項性能。

■規格

■Specifications

・外形尺寸:902×1102×150(浮起時(shí)152)mm

・Size:902×1102×150(floating152)mm

・重量:320kg

・Product Weight:320kg

・承重:1000kg

・Load Capacity:1000kg

・空氣源:CDA

・Air Source: CDA

・壓力:0.6MPa

・Air Pressure:0.6MPa

・最大流量:21L/min(A.N.R)(★第一次啟動(dòng)時(shí))

・Maximum Air Flow:21L/min(A.N.R)

・通常時(shí):1L/min以下(A.N.R)

・Air Consumption:1L/min(A.N.R)

・電源:?jiǎn)蜗?00~240V 50/60Hz

・Power Supply:1φ100~240V 50/60Hz

・設置面:2mm

・Installation Floor Flatness:2mm

 

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